5月19日新闻上海微电子设备(集团)有限公司(SMEE)主要致力于半导体设备,泛半导体设备和高端智能设备的开发,设计,制造,销售和技术服务。如今,上海微电子设备有限公司正式宣布其高亮度LED步进投影光刻机终于成功突破了1,200多个已申报的项目,并被评选为“上海设计百强”。由上海微电子设备有限公司独立开发的高亮度LED步进投影光刻机是中国第一款针对6英寸以下中小型基板先进光刻应用的光刻机产品。可以满足单面或双面HB-LED等领域的要求。 LED行业的光刻工艺要求解决了高分辨率,高拼接精度,大焦深,高成品率的大翘曲蓝宝石对LED行业的光刻要求,并支持蓝宝石键合晶圆的特殊工艺。据悉,自从上海微电子设备有限公司推出高亮度LED步进投影光刻机以来,它先后获得了“第十五届中国国际工业博览会铜奖”,“上海专利新产品”和“第十三届”。 (2018)年度``中国半导体创新产品和技术奖'',第四批``制造单项冠军产品'';以及工业和信息化部的其他荣誉。