Juheng.com援引韩国媒体的报道称，为了按计划在2022年批量生产3纳米芯片，三星将在其德克萨斯州奥斯汀市的半导体子公司启动新的EUV专用系统LSI工厂投资计划。据悉，这项投资高达１００亿美元，月生产能力约为７万片。韩国媒体infostockdaily报道，相关行业消息人士称，三星在奥斯汀的新工厂已确认将生产非内存半导体（Non-memorySemiconductor）和系统LSI。早前，业界报道三星电子计划在韩国平泽市华城和德克萨斯州奥斯汀建立EUV生产系统，作为7纳米以下芯片的生产基地。同时，据韩国媒体报道，三星公司副董事长李Zayong上个月访问了荷兰的ASML总部，以现场了解EUV设备的生产，并希望提前交付预定的EUV生产设备。但是，在韩国媒体的最新报道中，三星并未提及三星在美国工厂的最新进展，包括它是否已通过美国政府的审查或已进入最后阶段。