半导体是指在室温下在导体和绝缘体之间具有导电性的材料。半导体的可控电导率使它们在科学，技术和经济中起着非常重要的作用。半导体行业中最上游的是硅晶圆制造。硅晶片工业实际上由三个子部门组成：“硅的初始纯化，多晶硅制造和硅晶片制造”。并且真空设备被广泛用于半导体行业。在工业生产中，真空主要用于减少工作空间中的空气并保持工作空间清洁。使用真空设备必须符合生产要求。在半导体工业生产中使用真空设备可大大降低员工工作区域的噪声水平，以满足半导体工业的技术要求。因为在半导体制造业中，除了超净环境外，还必须在真空环境中执行某些处理步骤。大气中充满着不断运动的氮气，氧气和其他气体分子。当这些气体分子移动到物体表面时，其中一些会粘附到物体表面。尽管这不会对我们的日常生活产生太大影响，但是这些细微的变化将给半导体器件的生产带来各种麻烦。通常，半导体器件包含各种材料。如果气体分子混合在这些不同的材料层之间，则器件的电或光学特性将受到损害。例如，当要在晶体层上外延生长一层晶体时，吸附在底部晶体表面上的气体分子将阻止其上的原子根据晶格结构排列，从而导致许多缺陷。外延层。在严重的情况下，晶体无法膨胀，只能获得具有无序原子排列的多晶或无定形。因此，为了获得清洁的晶体表面，通常必须将气体分子的密度降低至大气密度的数亿倍，即，获得真空环境。因此，人们已经制造出大小密封的容器，并且发明了各种真空泵以将空气从这些密封的容器中抽出，并使它们成为真空环境。但是，半导体工业中使用的真空设备有严格的要求，并且必须严格控制真空度。半导体组件的真空生产环境中有严格的真空标准。只有在标准范围内，才能保证组件的生产质量。通常，热导率传感器用于监测真空。导热系数传感器是真空科学研究和真空测试技术的重要检测元素。基于皮拉尼原理的热导率传感器被广泛用于测量105 Pa至10-1 Pa的粗真空。为选择真空测量仪器，有两种热导率传感器，即瑞士Neroxis热导率气体传感器-MTCS2601和。荷兰Xensor热导率气体传感器-XEN-TCG3880。 MTCS2601对安装位置不敏感，可以在串扰气体环境中使用，并且与简单的恒温电路兼容。 XEN-TCG3880适用于10mPa〜10KPa之间的真空测量。