随着半导体工艺进入10nm节点以下,EUV光刻机已成为制高点。
以前,台积电抢购了世界上大多数EUV光刻机,并在7nm和5nm工艺的批量生产中处于领先地位。
现在存储器制造商也正在进入市场。
SK海力士以4.8万亿韩元的价格抢购EUV光刻机。
据报道,SK海力士已与ASML签署了一项超大型订单,该订单将在未来五年内花费4.8万亿韩元(约合43.4亿美元)购买EUV光刻机。
SK海力士在一份监管文件中表示,该交易是为了实现下一代工艺芯片的批量生产目标。
ASML和SK Hynix没有透露他们用这么大的资金购买了多少EUV光刻机,但是从先前的1亿欧元数据来看,SK Hynix这次购买了大约40台EUV光刻机。
如果扣除支持服务费,总数也可能在30-35个单位之间,这仍不容小under。
毕竟,去年ASML的EUV光刻机的销量仅为31台。
根据各种数据,SK Hynix在未来几年内还将成为ASML的主要EUV客户。
此外,SK Hynix是全球第二大存储芯片制造商。
这次购买的EUV光刻机主要用于新一代内存颗粒。
先前有报道称,SK海力士将在今年下半年在利川工厂的M16生产中使用EUV光刻机。
第四代(1anm)DRAM产品。
对于存储器,它面临着与CPU逻辑过程相同的小型化问题。
EUV光刻机可以减少多次曝光过程并提供过程精度,从而可以减少生产时间,降低成本并提高性能。