在过去的六个月中,芯片代工厂商几乎进入了行业的旺季,许多芯片订单已经超过六个月。芯片代工厂无法消耗那么多的芯片订单,导致生产能力无法跟上市场消耗,许多公司只能选择自己购买芯片制造设备。
根据TOMSHARDWARE的报告,TSMC表示,其部署的极紫外(EUV)光刻工具约占全球安装和运行总量的50%,这意味着其使用的EUV机器比业内任何其他公司都要多。为了保持领先地位,台积电已订购了至少13台ASML Twinscan NXE EUV光刻机,这些设备将在2021年全年交付,但具体交付和安装时间表尚不清楚。
同时,台积电明年的实际需求可能高达16-17台EUV光刻机。在急于购买EUV光刻机的过程中,尽管台积电(TSMC)处于领先地位,但台积电(TSMC)也担心该光刻机。
甚至有报道称某些M1芯片将移交给三星代工厂,主要是因为台积电的5nm生产能力不足。实际上,我们所说的产能不足是一个相应的概念。
如果市场需求不大,那么这种短缺就不会发生。不仅苹果,高通和其他技术巨头都需要使用这种先进的制程技术,该技术已经不仅包括5nm制程,甚至7nm制程也需要EUV光刻机,但是EUV光刻机的数量确实有限。
虽然我们现在说台积电已经花了大笔钱购买了55台光刻机,但是这么多机器不足以满足市场需求吗?台积电在其N7 +和N5节点制造芯片上使用ASML的Twinscan NXE EUV光刻机,但在接下来的几个季度中,该公司将增加N6(实际上,它将在2020年第四季度或第一个进入HVM) 2021年第四季度)和N5P流程,该流程也具有EUV层。台积电对EUV工具的需求不断增长,因为其技术变得越来越复杂,并且需要使用极紫外光刻工具处理更多的地方。
台积电的N7 +使用EUV来处理多达4层,从而在制造高度复杂的电路时减少了多图案技术的使用。根据ASML的官方数据,从2018年到2019年,每月生产能力约为45,000个晶圆(WSPM),并且一个EUV层需要使用Twinscan NXE光刻机。
随着工具生产效率的提高,WSPM的数量也在增加。如果您想配备一个将使用N3或更先进的节点制造工艺的GigaFab(每月产能超过100,000件),则台积电在该工厂中至少需要40台EUV光刻设备。
ASML新推出的Twinscan NXE:3400B和NXE:3400C光刻系统非常昂贵。早在十月,ASML就透露其订购的四个EUV系统价值5.95亿欧元(约合7.03亿美元),因此单个设备的成本可能高达148.75亿欧元(175.75亿美元)。
换句话说,台积电13套EUV设备的成本可能高达22.84亿美元。但是,当涉及到EUV工具时,金钱并不是唯一的考虑因素。
ASML是唯一生产和安装EUV光刻机的公司,其生产和安装能力相对有限。调整生产流程后,该公司认为单台机器的周期时间可以减少到20周,因此年生产能力将达到45至50个系统。
在今年的前三个季度,ASML已交付了23台EUV光刻机,预计年销量将略低于最初计划的2020年的35台。到目前为止,ASML已交付了83台商用EUV光刻机(包括NXE) :3350B,NXE:3400B和NXE:3400C从2015年第一季度到2020年第三季度出售)。
如果台积电关于在全球安装并运行大约50%的Twinscan NXE光刻机的官方声明是正确的,那么它目前可能拥有30至40台EUV光刻机。台积电当然不是唯一购买大量EUV光刻机的半导体制造商。
三星目前仅使用EUV工艺来生产其7LPP和5LPE SoC和某些DRAM,但是随着三星工厂扩大EUVL工艺的生产,三星半导体还增加了基于EUV工艺的DRAM的产量,最终不可避免要购买更多的Twinscan NXE光刻机。预计英特尔还将在2022年开始使用其7nm节点生产芯片时开始部署EUVL设备。
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